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冷阴皮拉尼复合真空规

点击次数：156 发布时间：2021/1/6 11:27:48

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公司名称：上海非利加实业有限公司型号：INFICON 生产地址：中国大陆已获点击：156 简单介绍： INFICON MPG400/MPG401 冷阴皮拉尼复合真空规
INFICON的冷阴和皮拉尼的复合真空规 MPG400和MPG401, 测量范围从 5x10-9毫巴至大气压( x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.

详细内容

INFICON MPG400/MPG401 冷阴皮拉尼复合真空规
INFICON MPG400/MPG401 冷阴皮拉尼复合真空规

产品介绍

INFICON复合真空规（冷阴和皮拉尼的复合）

型号：MPG400和MPG401,

INFICON的冷阴和皮拉尼的复合真空规 MPG400和MPG401, 测量范围从 5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.

优点：

复合真空规—冷阴与皮拉尼

宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压

无可烧毁的灯丝

卓越的引燃功能

易清洗

FPM或金属密封的馈入件

高压加上时LED指示灯亮

对数模拟输出讯号

应用：

高真空压强监测

蒸发和溅射系统的压强测量

般真空测量和控制，从中至高真空范围

技术参数：

测量范围（空气, N2）

毫巴（乇）

5 x 10-9… 1000 （3.8 x 10-9… 760）

精度（N2） 1 x 10-8 … 100毫巴

% 读值

≈±30%

重复性1 x 10-8 … 100毫巴

% 读值

≈±5%

安装方向

任何

允许压强

巴（绝对）

≤10 （限于惰性气体）

允许温度

工作（室温）

贮存

烘烤 1）

灯丝温度（皮拉尼）

°C

+5 … +55

–40 … +65

150

120

电源电压

在规管上

V DC

+15 … +30

在供电单元上, 大电缆长度 2）

V DC

+16 … +30

纹波

Vpp

≤1

功耗

≤2

连接保险丝

≤1

输出讯号（测量讯号）

电压范围

0 … +10.5

测量范围

+1.82 … +8.6

电压与压强的关系

对数, 0.6 V/量

误差讯号

<0.5 （无电源）

>9.5 （皮拉尼传感器, 灯丝断裂）

输出阻抗

2 x 10

小负载阻抗

10, 短路保护

响应时间 p > 10-6 毫巴

毫

<10

p = 10-8 毫巴

毫

≈1000

规管标识

85, 参考电源公共点

状态

仅皮拉尼模式

0 （低）

复合皮拉尼 / 冷阴模式

15 … 30 （高）

指示灯

LED 绿色

高压on

电气连接

FCC 68 设备连接件, 8脚,凹型

传感器电缆

8芯,加屏蔽

电缆长度

米

≤50 （8 x 0.14 毫米2）

工作电压

千伏

≤3.3

工作电流

微安

≤500

暴露于真空的材料

不锈钢, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W

不锈钢, Al2O3, Ag, Cu, Sn Mo, Ni, Au, W

内容积

厘米3

≈20

重量

DN 25 ISO-KF

克

≈700 ≈730

DN 40 ISO-KF

克

≈720 ≈750

DN 40 CF-F

克

≈980 ≈1010

保护别

IP 40

标准

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1
INFICON MPG400/MPG401 冷阴皮拉尼复合真空规

产品介绍

INFICON复合真空规（冷阴和皮拉尼的复合）

型号：MPG400和MPG401,

优点：

复合真空规—冷阴与皮拉尼

宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压

无可烧毁的灯丝

卓越的引燃功能

易清洗

FPM或金属密封的馈入件

高压加上时LED指示灯亮

对数模拟输出讯号

应用：

高真空压强监测

蒸发和溅射系统的压强测量

般真空测量和控制，从中至高真空范围

技术参数：

测量范围（空气, N2）

毫巴（乇）

5 x 10-9… 1000 （3.8 x 10-9… 760）

精度（N2） 1 x 10-8 … 100毫巴

% 读值

≈±30%

重复性1 x 10-8 … 100毫巴

% 读值

≈±5%

安装方向

任何

允许压强

巴（绝对）

≤10 （限于惰性气体）

允许温度

工作（室温）

贮存

烘烤 1）

灯丝温度（皮拉尼）

°C

+5 … +55

–40 … +65

150

120

电源电压

在规管上

V DC

+15 … +30

在供电单元上, 大电缆长度 2）

V DC

+16 … +30

纹波

Vpp

≤1

功耗

≤2

连接保险丝

≤1

输出讯号（测量讯号）

电压范围

0 … +10.5

测量范围

+1.82 … +8.6

电压与压强的关系

对数, 0.6 V/量

误差讯号

<0.5 （无电源）

>9.5 （皮拉尼传感器, 灯丝断裂）

输出阻抗

2 x 10

小负载阻抗

10, 短路保护

响应时间 p > 10-6 毫巴

毫

<10

p = 10-8 毫巴

毫

≈1000

规管标识

85, 参考电源公共点

状态

仅皮拉尼模式

0 （低）

复合皮拉尼 / 冷阴模式

15 … 30 （高）

指示灯

LED 绿色

高压on

电气连接

FCC 68 设备连接件, 8脚,凹型

传感器电缆

8芯,加屏蔽

电缆长度

米

≤50 （8 x 0.14 毫米2）

工作电压

千伏

≤3.3

工作电流

微安

≤500

暴露于真空的材料

不锈钢, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W

不锈钢, Al2O3, Ag, Cu, Sn Mo, Ni, Au, W

内容积

厘米3

≈20

重量

DN 25 ISO-KF

克

≈700 ≈730

DN 40 ISO-KF

克

≈720 ≈750

DN 40 CF-F

克

≈980 ≈1010

保护别

IP 40

标准

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

更新时间：2024/4/19 11:52:42

标签：INFICON MPG400/MPG401 冷阴皮拉尼复合真空规

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