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反磁控皮拉尼真空计

点击次数：235  发布时间：2021/1/6 11:24:33

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公司名称：上海非利加实业有限公司 型 号：INFICON 生产地址：中国大陆 已获点击：235 简单介绍： INFICON 反磁控皮拉尼真空计
INFICON 倒置磁控管皮拉尼真空计 MPG400 和 MPG401 测量范围为 5 x 10-9 毫巴至大气压（ x 10-9 托至大气压）。 将多项技术融入到一个带一个对数模拟输出信号的紧凑型装置中，显著降低了安装、设置和集成的复杂性。

详细内容

INFICON 反磁控皮拉尼真空计
INFICON 倒置磁控管皮拉尼真空计 MPG400 和 MPG401 测量范围为 5 x 10-9 毫巴至大气压（3.8 x 10-9 托至大气压）。 将多项技术融入到一个带一个对数模拟输出信号的紧凑型装置中，显著降低了安装、设置和集成的复杂性。

产品概述详细参数资料下载

益处

复合真空计 – 倒置磁控管与皮拉尼

测量范围广，从 5 x 10-9 毫巴到大气压

不会出现单丝烧毁的现象

卓越的点火属性

易于清洁

FPM 或金属密封馈入装置

高压 LED 指示灯

对数模拟输出信号

典型应用

高真空压力监控

蒸发系统和溅射系统的基本压力

中高真空范围内的一般真空测量和控制

 

 

规格

 

类型

 

MPG400 FPM sealed

 

MPG401 metal-sealed

 

测量范围（空气，N2）

 

5 x 10-9 … 1000 

 

5 x 10-9 … 1000 

 

精度 (N2)

 

 

 

 

 

1 x 10-8 … 100 毫巴

 

% of reading

 

≈±30%

 

≈±30%

 

可重复性

 

 

 

 

 

1 x 10-8 … 100 毫巴

 

% of reading

 

≈±5%

 

≈±5%

 

安装定位

 

any

 

any

 

容许压力

 

bar (absolute)

 

≤10 (limited to inert gases)

 

≤10 (limited to inert gases)

 

容许温度

 

 

 

 

 

运行（环境）

 

°C

 

+5 … +55

 

+5 … +55

 

贮存

 

°C

 

–40 … +65

 

–40 … +65

 

烘烤 (1)

 

°C

 

150

 

150

 

单丝温度（皮拉尼）

 

°C

 

120

 

120

 

电源电压

 

 

 

 

 

真空计上

 

V (dc)

 

+15 … +30

 

+15 … +30

 

缆线更长的电源装置 (2)

 

V (dc)

 

+16 … +30

 

+16 … +30

 

波纹

 

V (p-p)

 

≤1

 

≤1

 

功耗

 

W

 

≤2

 

≤2

 

可连接的保险丝

 

AT

 

≤1

 

≤1

 

输出信号（测量信号）

 

 

 

 

 

电压范围

 

V

 

0 … +10.5

 

0 … +10.5

 

测量范围

 

V

 

+1.82 … +8.6

 

+1.82 … +8.6

 

电压与压强

 

logarithmic, 0.6 volts per decade

 

logarithmic, 0.6 volts per decade

 

错误信号

 

 

 

 

 

无电源

 

V

 

<0.5

 

<0.5

 

皮拉尼传感器，单丝断裂

 

V

 

>9.5

 

>9.5

 

输出电阻

 

Ω

 

2 x 10

 

2 x 10

 

更小负载电阻

 

kΩ

 

10, short-circuit proof

 

10, short-circuit proof

 

反应时间

 

 

 

 

 

p > 10-6 毫巴

 

ms

 

<10

 

<10

 

p = 10-8 毫巴

 

ms

 

≈1000

 

≈1000

 

识别真空计

 

85, referenced to supply common

 

85, referenced to supply common

 

状态

 

 

 

 

 

仅皮拉尼模式

 

V

 

0 (low)

 

0 (low)

 

复合皮拉尼 / 冷阴模式

 

V

 

15 … 30 (high)

 

15 … 30 (high)

 

LED

 

LED green

 

high voltage on

 

high voltage on

 

电气连接

 

FCC 68 appliance connector, 8 poles, female

 

FCC 68 appliance connector, 8 poles, female

 

传感器电缆

 

8 poles plus shielding

 

8 poles plus shielding

 

电缆长度

 

m

 

≤50 (8 x 0.14 mm2)

 

≤50 (8 x 0.14 mm2)

 

运行电压

 

kV

 

≤3.3

 

≤3.3

 

运行电流

 

μA

 

≤500

 

≤500

 

暴露于真空的材料

 

stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W

 

stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W

 

内部容积

 

cm3

 

≈20

 

≈20

 

重量

 

 

 

 

 

DN 25 ISO-KF

 

g

 

≈700

 

≈730

 

DN 40 ISO-KF

 

g

 

≈720

 

≈750

 

DN 40 CF-F

 

g

 

≈980

 

≈1010

 

保护类别

 

IP 40

 

IP 40

 

标准

 

 

 

 

 

CE 合规

 

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

 

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

 

1) 没有电子和磁遮蔽。

 

2) **根据传感器电缆的长度按比例增加电源的**低电压。

INFICON 倒置磁控管皮拉尼真空计 MPG400 和 MPG401 测量范围为 5 x 10-9 毫巴至大气压（3.8 x 10-9 托至大气压）。 将多项技术融入到一个带一个对数模拟输出信号的紧凑型装置中，显著降低了安装、设置和集成的复杂性。

产品概述详细参数资料下载

益处

复合真空计 – 倒置磁控管与皮拉尼

测量范围广，从 5 x 10-9 毫巴到大气压

不会出现单丝烧毁的现象

卓越的点火属性

易于清洁

FPM 或金属密封馈入装置

高压 LED 指示灯

对数模拟输出信号

典型应用

高真空压力监控

蒸发系统和溅射系统的基本压力

中高真空范围内的一般真空测量和控制

 

 

 

 

 

规格

 

类型

 

MPG400 FPM sealed

 

MPG401 metal-sealed

 

测量范围（空气，N2）

 

5 x 10-9 … 1000 

 

5 x 10-9 … 1000 

 

精度 (N2)

 

 

 

 

 

1 x 10-8 … 100 毫巴

 

% of reading

 

≈±30%

 

≈±30%

 

可重复性

 

 

 

 

 

1 x 10-8 … 100 毫巴

 

% of reading

 

≈±5%

 

≈±5%

 

安装定位

 

any

 

any

 

容许压力

 

bar (absolute)

 

≤10 (limited to inert gases)

 

≤10 (limited to inert gases)

 

容许温度

 

 

 

 

 

运行（环境）

 

°C

 

+5 … +55

 

+5 … +55

 

贮存

 

°C

 

–40 … +65

 

–40 … +65

 

烘烤 (1)

 

°C

 

150

 

150

 

单丝温度（皮拉尼）

 

°C

 

120

 

120

 

电源电压

 

 

 

 

 

真空计上

 

V (dc)

 

+15 … +30

 

+15 … +30

 

缆线更长的电源装置 (2)

 

V (dc)

 

+16 … +30

 

+16 … +30

 

波纹

 

V (p-p)

 

≤1

 

≤1

 

功耗

 

W

 

≤2

 

≤2

 

可连接的保险丝

 

AT

 

≤1

 

≤1

 

输出信号（测量信号）

 

 

 

 

 

电压范围

 

V

 

0 … +10.5

 

0 … +10.5

 

测量范围

 

V

 

+1.82 … +8.6

 

+1.82 … +8.6

 

电压与压强

 

logarithmic, 0.6 volts per decade

 

logarithmic, 0.6 volts per decade

 

错误信号

 

 

 

 

 

无电源

 

V

 

<0.5

 

<0.5

 

皮拉尼传感器，单丝断裂

 

V

 

>9.5

 

>9.5

 

输出电阻

 

Ω

 

2 x 10

 

2 x 10

 

更小负载电阻

 

kΩ

 

10, short-circuit proof

 

10, short-circuit proof

 

反应时间

 

 

 

 

 

p > 10-6 毫巴

 

ms

 

<10

 

<10

 

p = 10-8 毫巴

 

ms

 

≈1000

 

≈1000

 

识别真空计

 

85, referenced to supply common

 

85, referenced to supply common

 

状态

 

 

 

 

 

仅皮拉尼模式

 

V

 

0 (low)

 

0 (low)

 

复合皮拉尼 / 冷阴模式

 

V

 

15 … 30 (high)

 

15 … 30 (high)

 

LED

 

LED green

 

high voltage on

 

high voltage on

 

电气连接

 

FCC 68 appliance connector, 8 poles, female

 

FCC 68 appliance connector, 8 poles, female

 

传感器电缆

 

8 poles plus shielding

 

8 poles plus shielding

 

电缆长度

 

m

 

≤50 (8 x 0.14 mm2)

 

≤50 (8 x 0.14 mm2)

 

运行电压

 

kV

 

≤3.3

 

≤3.3

 

运行电流

 

μA

 

≤500

 

≤500

 

暴露于真空的材料

 

stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W

 

stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W

 

内部容积

 

cm3

 

≈20

 

≈20

 

重量

 

 

 

 

 

DN 25 ISO-KF

 

g

 

≈700

 

≈730

 

DN 40 ISO-KF

 

g

 

≈720

 

≈750

 

DN 40 CF-F

 

g

 

≈980

 

≈1010

 

保护类别

 

IP 40

 

IP 40

 

标准

 

 

 

 

 

CE 合规

 

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

 

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

 

1) 没有电子和磁遮蔽。

 

2) **根据传感器电缆的长度按比例增加电源的**低电压。

 

更新时间：2024/4/24 17:09:11

标签：INFICON   反磁控皮拉尼真空计   

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