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重视基本性能、超紧凑设计的ESCA。测定操作简单,可自动分析多种样品,适于质量管理分析与生产管理分析。
备有用于快速深度方向分析的离子枪(选配)。
灵敏度/分辨率 700kcps(Ag3d5/2、1.15ev)
X射线源 Mgka 12kv、30mA
到达真空度 5×10-7Pa以下
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X射线源 Mgka 12kv、30mA
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标签:X射线,光电子能谱仪
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